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モデル CPL590


Lion Precisionの静電容量型変位センサモデルCPL590は、従来のアナログ出力に加え、デジタル出力を搭載した最新モデルです。

SPI/EtherCAT対応でセンサ出力を自社設備の自動制御システムや管理システムに直結で接続することが可能です。

従来モデルよりもコンパクト設計で、スロットは2Uサイズを採用。

また、デジタルテクノロジーにより各チャンネルあたり最大4種類の測定範囲を設定可能なため、1チャンネルでサブナノメートルレベルから変位量の大きな測定まで対応できることにより、様々な用途にご活用いただけます。

 

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静電容量型変位センサ
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特長

■非接触変位測定

■SPI/EtherCAT対応

■高い応答性と分解能

■従来モデルよりもコンパクト設計

■1台で最大4つの測定範囲が設定可能


主な仕様

■測定範囲 : 10um~2mm

■出力分解能: 最高0.12nm

■直線性: 最高0.05%F.S

■応答周波数: 100Hz,1kHz, 10kHz, 15kHzに切替え可能

■温度ドリフト: 0.04% F.S /℃

■使用温度範囲: 4~50℃

■使用湿度範囲: 95%以下(結露なきこと)

■出力電圧: ±10V

■供給電源: AC100V


主なアプリケーション

■位置決めやフォーカスコントロールなどの姿勢制御

■精密ステージの真直度やステップ送り測定

■振動体などのダイナミック計測および制御

■ウェーハやディスクなどの厚みおよび形状測定

■精密スピンドルの振れや熱変位測定

詳細はアプリケーションをご確認下さい



測定範囲と分解能



多彩なプローブ形状

モデルCPL590には多彩なプローブ形状がラインアップされています。様々な外形形状や電極径、測定範囲などお客様のアプリケーションに最適なプローブを選定することができます。また、ご要望の仕様に合わせてプローブ形状や電極径などのカスタマイズを行うこともできます。


様々な構成に対応

Lion Precisionの静電容量型変位センサは、1つのエンクロージャに対して最大8チャンネルまで搭載することが可能です。シングルチャンネルからマルチチャンネル、組合せなどお客様のアプリケーションやご予算に応じてフレキシブルな対応ができます。



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