オランダIBS Precision Engineering工作機械検査シリーズの測定方式は独自に開発したそれぞれの特殊プローブで、３Dのデータを一度に取り込み演算する画期的なものです。
プローブに使われる測定子も、高分解の接触式センサで有線タイプのTRITON と非接触センサで自由度の高い無線タイプのTRINITYがあります。

3軸精度検査システムPosition Inspector は工作機械のテーブル上にあらかじめ高精度に校正したボールビームを取り付けます。ビーム上には直径22㎜のセラミック製ボールが50㎜の等間隔で取付けられています。3つのセンサーを組込んだ独創的な自動調芯式プローブTRITONをセラミック製ボールに押し当てることで、ボールの中心点座標が瞬時にサブミクロン精度で測定されます。この動作を移動させた並んだボールに繰り返し行い、得られた結果を付属するソフトウエアで解析する事で、位置決め誤差と真直度誤差がISO 230に準拠して評価できます。