変位センサ

変位センサとは

変位センサとは、測定対象が移動したときの移動距離＝変位を測定するための機器になります。移動距離だけではなく、測定対象の厚みや外径の測定など、寸法測定にも使用され、用途や使用環境に応じて、最適な機器を選定する必要があります。

変位センサの測定方式は測定対象と触れずに測定する「非接触式」と、直接触れて測定する「接触式」に大きく分類されます。

非接触式の変位センサには光学式(レーザー式)、超音波式など、いくつかの方式がありますが、当社ではマイクロからナノ単位まで高精度に変位を計測することが可能な Lion Precisionの静電容量型変位センサと渦電流型変位センサを取り扱っています。

静電容量型変位センサ・渦電流型変位センサともに測定物に対して非接触で変位を高精度に測定することができます。

静電容量型変位センサの特徴と用途

・高分解能で高速応答な測定が可能です

・測定対象である金属の材質や成分の影響を受けません

・面測定の為、測定対象の面粗さは平均化して検出されます

・主に超精密加工機の精度評価、加工品の形状、厚み測定、半導体の製造の制御に使用されます

渦電流型変位センサの特徴と用途

・センサと測定対象の間に水や油がある環境下でも影響を受けることなく測定可能です

・静電容量型変位センサよりも広いレンジで測定可能です

・静電容量型変位センサと比べて低コストになります

・加工中の熱変位測定、加工中の振動モニタリング、位置検出、液体中での変位測定等に使用されます

Capacitive Sensors

静電容量型変位センサ

Lion Precision (USA)

Lion Precisionは1958年にDr. Kurt Lion により設立され、静電容量型変位センサを世界で初めて販売を開始致しました。渦電流型変位センサを新たなラインアップに加え、公的研究機関を含め、世界中の様々な分野でご活用いただいています。

Lion Precision独自の技術により開発された静電容量型変位センサは、被測定物に接触することなく変位を高精度に測定することができます。

静電容量型変位センサは、センサと被測定物の間の静電容量の変化を測定し、被測定物の変位を算出します。また、非接触であるため、被測定物に負荷や損傷を与えることなく、ナノメートルレベルでの各種変位測定、形状測定、厚み測定、位置検出などが可能です。
業界最高レベルの分解能と優れた安定性により、工作機械や半導体、光学機器、バイオサイエンスなど様々な分野で広くご活用いただいております。

詳しくはこちら

アンカー 2

Eddy-Current Sensors

渦電流型変位センサ

Lion Precision (USA)

Lion Precision独自の技術により開発された渦電流型変位センサは、非接触で被測定物の変位を高精度に測定することができます。渦電流型変位センサは、測定対象物との間に交流磁場を発生させ、磁場の変化量を変位として検出します。そのため、センサと測定対象との間に水や油などがある環境下でも影響を受けることなく測定することができます。Lion Precisionの渦電流型変位センサは高性能であるため、ミリ単位の測定レンジでありながらサブミクロンレベルの高い分解能を得ることできます。
環境に強く、取扱いが容易であるため、工作機械などの分野はもとより、様々な分野のアプリケーションでご活用意いただいております。