NANOMOTION社製 超音波モータ・市松くん
共振型・超音波モータの特徴を生かし、在来の非共振型・超音波モータに比べ速度範囲が広く,推力が大きく,リニアー、ロータリーのいずれの駆動方法にも適用可能であり、ナノテクノロジーのソリューションとして、以下の分野に利用されています。
[ 産業用 ]
- 大気圧・真空・超真空・非磁性環境に於ける半導体（セミコン）チップの製造・検査
- バイオ・医療・製薬機器
- 指紋・細胞見本等の多量な画像データの収集・作製
- 強磁場環境を含む 原子核研究装置
- 光フアイバー関連の組立て・自動化装置・調芯装置
- 測長機器・検査装置
- ディスク検査装置
[ 民生用 ]
- カメラ付き携帯電話・ポータブルオーデオ機器等
- NANOMOTION社製 超音波モータは様々な分野で応用可能です。以下のキーワードに該当する分野で活躍します。
- ナノテクノロジー,XYZ軸,ステージ,マニュピレータ,ロボット,パラレルリンク,平行軸,自動化装置,光学,共焦点,電子顕微鏡,半導体製造,ディスク検査,真空,非磁性,X線,レザー,電子ビーム,スキャン,走査,描画,光ファイバー,光スイッチ,ダイオード,ピエゾ,超音波,モータ,小型,PZT,精密,位置決め,レンズ,定速,高速,バイオチップ,DNAチップ,マイクロアレイ,化学チップ,バイオ,新薬開発,創薬,細胞,共振型
NANOMOTION社製 超音波モータ・市松くんについて
- 分解能はナノメータレベル
- ワイドな速度範囲
- 応答性が高い
- 抜群の高駆動力、高静止保持力
- 電磁障害、騒音ゼロ
- 真空、非磁性環境対応
- 超小型でコンパクト
共振型・超音波モータの原理
本機は、4つの電極を市松模様に通電させることにより、圧電効果（ピエゾ効果）を最大限にとりだせる超音波モータです。
圧電効果とは、ある種の結晶に電界を加えると伸縮（ひずみを生じる又は応力を発生する）する効果 のことです。
圧電セラミックに超音波領域の交流電圧を加えると、その周波数に共振し縦方向共振運動と横方向共振運動が合成され、フィンガーチップ先端が図のように楕円運動します。
モータの駆動力／速度 特性
小型・軽量・超音波モータ・ST1
ST1
[ 仕 様 ]
- 重量 … 5.5g
- サイズ … W22.8×L22.7×H6.1mm
- 最大許容速度 … 250mm/s
- 静的保持力 … 1.3N
- 非通電時剛性 … 0.2N/μ
- 公称寿命 … 20,000hr
- 環境温度 … 0〜50℃
EDGE型
EDGE型
[ 仕 様 ]
- 重量 … 0.6g
- サイズ … W7.6×L13.5×H3.15mm
- 最大速度 … 300mm/s
- 静的保持力 … 350mN
- 非通電時剛性 … 0.09N/μ
- 公称寿命 … 20,000hr
- 環境温度 … -26〜60℃
超音波モータ使用環境
真空・非磁性環境対応型
(HR-VN)
使用環境により
各種モデルがあります。
- 大気圧
- 真空：10−5pa以上
- 最大許容速度：250mm/s
- 超真空：10−8pa以上
- 非磁性：0.5nT
自動位置決めXYステージ（SEM・電子ビーム用コラム）（ST-VN搭載）
電子ビーム鏡筒用
XYステージ
[ 仕 様 ]
- ストローク(X・Y) … 10mm
- 分解能 … 0.05μm
- 繰返し精度 … 0.1μm
- 許容負荷 … 最大60g
- 使用環境 … イオンビーム コラム中
- (真空圧10-6pa)／磁性30nt
- モータープリロード … 最大6N
超音波モータ用オープンループコントローラー
[ 特 長 ]
- 各種産業機器の超小型化に対応できる。
- RS232C経由PC接続されたコントローラにゲート開閉時間と供給電圧を指示し連続走行、サブミクロン単位のステッピング動作を任意にコントロールできるオープンループ制御システム。
- コントローラは各種センサー等 外部信号インターフエースポート付き。
- 従来型クラッチ、ブレーキ無しで、高精度位置決め、シークエンシャルコントロールが可能。
マイクロ・超音波モータ
[ 性 能 ]
- 最高速度 … 250[mm/sec]
- 最大推力 … 170[mN]
- 静止保持力 … 160[mN](reference value)
- 剛 性 … 0.04[N/μ]
- 分解能 … 50nM以下(応用例参照のこと)
- モータ寿命 … 20,000時間(通常作動条件で)
[ 特 製 ]
- 最大入力電圧 … 70Vrms,サイン波
- 最大消費電流 … 350mW
- 最大消費電力 … 160[mM](reference value)
[ 使用環境 ]
- 温 度 … 0-50℃
- 保管温度 … -40℃-+70℃
- 湿 度 … 0-80% non condensing
- 真空環境圧力 … 1E-7bar
[ 寸 法：図面参照 ]
[ 許容作動領域 ]
- 最大連続運動時間 … 4sec
- 指令電圧10V時の最大デューティー比 … 10%
超音波モータ用AC／DCモード駆動ドライバーAB2
[ 特 長 ]
1ナノ単位から200mm単位まですばやく駆動このステージはAB2ドライバーの採用によりDCモード／共振モードの切替えで1nm〜200mmのワイドレンジで駆動いたします。
NANOMOTION社製 超音波モータ・市松くんの多彩な採用例を紹介しています。
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