静電容量センサ・スピンドルエラーアナライザー,輸入,販売,ピーアンドシー株式会社

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Lion Precision社（ライオンプレシジョン社）製 静電容量センサ

Lion Precision（ライオンプレシジョン社）の静電容量センサ（キャパシタンス）を用いたSEA（スピンドルエラーアナライザ : 主軸の振れ測定・評価機システム）は、 JISB194、ISO230、ANSI/ASMEB89.3.4、B5.54、B5.57などで規定された工作機械や測定機などのスピンドルの評価基準に準拠したスピンドルの振れ・熱変位などの非接触・高速ダイナミック測定が可能です。静電容量センサは半導体露光装置などのステージやスライドの超精密位置決め用にも最適です。

Lion Precision社（ライオンプレシジョン社）製 静電容量センサは様々な分野で応用可能です。

Lion Precision社（ライオンプレシジョン社) 製 静電容量センサ (キャパシタンス) を用いたSEA (スピンドルエラーアナライザ : 主軸の振れ測定・評価システム) はJISB194、ISO230、ANSI/ASMEB89.3.4、B5.54、B5.57などで規定された工作機械や測定器などの主軸の評価基準に準拠した主軸の振れ・熱変位などの非接触・高速ダイナミック測定が可能です。静電容量センサは半導体露光装置などのステージやスライドの超精密位置決め用にも最適です。静電容量センサは透明ラベルの検出用にも使用されています。非導体の測定用には渦電流 (エディーカレント) 方式の測定機もあります。

精密変位計と基準球

主軸のツールホルダに取付けた精密に加工したマスターボールの動的変位 (回転中の誤差運動) を、取付け具に取付けた静電容量センサで測定します。

５軸変位計測システムによる測定

Z軸の変位を測定するために静電容量センサを下側より取付けます。X軸とY軸の変位を測定するために1組の静電容量センサを90度離して取付けます (トップビュー参照) 。もう1組のX、Y変位計を、2つ目の基準球を測定するために取付けます。これら合計5個の静電容量センサの組合わせにより、傾斜 (tilt) 誤差運動を測定することができます。

測定結果の解析と表示

スピンドルが回転中、LionPrecision社独自開発のソフトウェア (SEA) がプローブを介してデータを取り込み解析し、その結果をパソコン画面上で極座標や直線座標表示したり、詳細な数値として表示します。